光明棋牌

11项半导体设备和部件获选光明棋牌:年度光明棋牌:半导体创新产品(2019-4-18)


11项半导体设备和部件获选光明棋牌:年度光明棋牌:半导体创新产品(2019-4-18)



11项半导体设备和部件获选光明棋牌:年度光明棋牌:半导体创新产品

2019414光明棋牌:电子专用设备工业协会光明棋牌:半导体行业协会光明棋牌:电子材料行业协会光明棋牌:电子报社在北京组织业内专家10共同评选出11光明棋牌:年度光明棋牌:半导体设备和核心部件创新产品 (见下表排名不分先后)。现公示如下公示15天后协会正式公布光明棋牌:年度光明棋牌:半导体设备创新产品项目

第十三届(光明棋牌:年度光明棋牌:半导体设备和部件创新产品获选项目

 

项目名称

研发单位

1

12英寸化学机械抛光设备

Universal-300 Plus

天津华海清科机电科技有限公司

2

12英寸等离子体刻蚀机

NMC612系列

北京北方华创微电子装备有限公司

3

SSB300高性能LED步进投影光刻机

上海微电子装备集团股份有限公司

4

集成电路第三次光学检测机

深圳格兰达智能装备股份有限公司

5

悦芯20.00摄像头模组装片机

苏州艾科瑞思智能装备装备有限公司

6

平板式等离子体增强化学气相沉积设备

光明棋牌:电子科技集团公司第四十八研究所

7

管式等离子体淀积炉

双炉门非软着陆PD-450 PECVD)

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

8

大尺寸半导体硅单晶生长设备的关键技术

浙江晶盛机电股份有限公司

9

HPC-9N气体纯化器

大连华邦化学有限公司

10

CS200数字式质量流量控制器

北京七星华创流量计有限公司

11

12英寸立式石英舟

北京凯德石英股份有限公司